Perancangan Chamber dari DC Magnetron Sputtering
Keywords:
dc magnetron sputtering, renewable energy, solar cell.Abstract
Sel surya adalah perangkat yang menggunakan material semikonduktor untuk mengubah cahaya matahari secara langsung menjadi listrik. Saat ini sel surya adalah perangkat yang sedang diprioritaskan untuk diproduksi. Magnetron sputtering telah menjadi proses pilihan yang tepat untuk pembuatan sel surya karena dapat menghasilkan performansi yang bagus. Meskipun proses sputtering dasar telah dikenal dan digunakan selama bertahun-tahun, namun alat untuk melakukan proses ini masih memerlukan biaya yang tidak murah. Tujuan penelitian ini adalah untuk merancang chamber dari DC magnetron sputtering dengan biaya yang lebih rendah dengan fungsi yang setara dengan alat magnetron sputtering yang ada di pasaran. Metode yang digunakan dimulai dari identifikasi masalah, membuat desain, analisa rancangan dan kesimpulan. Rancangan dari chamber disusun menggunakan komponen-komponen standar yang mampu bertahan dari tekanan udara yang dihasilkan oleh pompa, tekanan yang diberikan oleh gas argon, dan panas yang dihasilkan saat proses sputtering berlangsung. Dengan meminimalisir komponen kustom didapatkan total biaya pembuatan yang lebih rendah dari yang ada dipasaran dan dapat dibongkar pasang.
References
C. Borri et al., “First proof-of-principle of inorganic lead halide perovskites deposition by magnetron-sputtering,” Nanomaterials, vol. 10, no. 1, Jan. 2020, doi: 10.3390/nano10010060.
A. T. Y. Nurlaila, “Perkembangan Energi Terbarukan Di Beberapa Negara,” Digilib.Batan.Go.Id, pp. 11–21, 2019, [Online]. Available: http://digilib.batan.go.id/e-prosiding/File Prosiding/Iptek Nuklir/SIEN2019/Prosiding_SIEN2019/DATA/11_Nurlaila.pdf
P. J. Kelly and R. D. Arnell, “Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications,” 2000.
A. D. Afriyani, S. Prasetya, and R. Filzi, “Analisis Pengaruh Posisi Panel Surya terhadap Daya yang dihasilkan di PT Lentera Bumi Nusantara,” Semin. Nas. Tek. Mesin, pp. 176–183, 2019, [Online]. Available: http://prosiding.pnj.ac.id/index.php/sntm/article/view/2016
D. A. Tunggadewi and F. Hidayanti, “Pembuatan Sel Surya Film Tipis dengan DC Magnetron Sputtering,” J. Ilm. Giga, vol. 18, no. 1, p. 30, 2015, doi: 10.47313/jig.v18i1.572.
Y. Ma et al., “Materials and structure engineering by magnetron sputtering for advanced lithium batteries,” Energy Storage Materials, vol. 39. Elsevier B.V., pp. 203–224, Aug. 01, 2021. doi: 10.1016/j.ensm.2021.04.012.
S. K. Padamata, A. Yasinskiy, V. Yanov, and G. Saevarsdottir, “Magnetron Sputtering High-Entropy Alloy Coatings: A Mini-Review,” Metals, vol. 12, no. 2. MDPI, Feb. 01, 2022. doi: 10.3390/met12020319.
John A. Thornton, “Magnetron sputtering:basic physics and application to cylindrical magnetrons,” Journal of Vacuum Science & Technology, vol. 15, no. 2. pp. 171–177, 1998.
A. W. N. Bagja Restu Muhammad, “Disain Dan Fabrikasi Mesin Sputtering Skala Laboratorium untuk Penumbuhan Film Tipis (Design and fabrication of Laboratory Scale Sputtering Machine for Thin Film Growth),” Semesta Tek., vol. 20, no. 1, pp. 1–7, 2017.
S. Mulyani, V. A. Carieta, and D. Aryanto, FABRIKASI FILM TIPIS ZnO : Ga DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING Pengaruh Daya Plasma dan Suhu. 2019.
